蒂姆（北京）新材料科技有限公司

1、原理
石英晶体法监控膜厚，主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层，使晶振片的厚度增加，则晶振片的固有频率会相应的变化。

显然晶体的基频越高，控制的灵敏度也越高，但基频过高时，晶体片会做得很薄，很薄的晶体片易碎，一般选用AT切型频率5～10MHz。采用AT切晶体片，其振动频率对质量的变化极其灵敏，但却不敏感于温度的变化，具有精度高、灵敏度好等独特的优势，非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。

2、产品品种
现在市场上常用的有两种频点，标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz，根据膜厚控制仪的探头设计不同，采用不同的电极形状如：单锚  双锚   全双锚。

3、电极材料
晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金。用户所镀的材料不同，需选用不同的电极材料产品。

金：是最广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积。适合于镀低应力膜料，如镀Al、Au、Ag、Cu等。

银：适合于镀高应力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

银铝合金：适合于镀介质光学膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

4.常规品牌型号规格

inficon，maxtek两种品牌常规规格、型号表格如下