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	无接触式厚度 TTV Warp\翘曲度 Bow\弯曲度能够测量Si，蓝宝石，GaAs，InP，Ge等材料硅片要求规格：晶圆2、 3、4、5、6、8测量功能厚度：单点及多点厚度 TTV:总厚度偏差	2013-01-30
	无接触式厚度电阻率手动硅片要求规格：方片125125mm 、156156mm 圆片 3、4、5、6、8测量功能厚度：单点及多点厚度 TTV:总厚度偏差体电阻率：单点及多	2013-01-30