近年来,在全球刮起了一股石墨烯旋风,越来越多的企业和科研单位开始致力于石墨烯材料的制备和测试,检测石墨烯的形貌结构显得尤为重要我们发现,三维共聚焦显微镜既用来观察样品表面亚μm程度的三维形态和形貌,又可以测量多种微小的尺寸,诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。而且测试方便快捷,不损坏样品,实际利用中比扫描电镜、原子力显微镜更加适用。国家级泰州石墨烯研究检测火炬平台的多名专家指出,三维共聚焦显微镜可以轻松检测通过PMMA转移的石墨烯(检测PMMA残留)、通过PET转移的石墨烯、铜基石墨烯的三维形貌等等,在石墨烯领域内已经开始了广泛有效的应用。
巨纳集团的三维共聚焦显微镜(NanoFocus μsurf)机台功能齐全,结构紧凑,性价比高,并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力,成为了国内众多石墨烯用户的首选。该设备采用多孔共聚焦专利技术,结合CCD的影像摄取,以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞,再将物镜垂直移动,以类似断层摄影方式,可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式的无损表征,不会破坏样品的表面,不需要在真空环境下测量及样品前期制备,仅需5~10秒即可完成测量;也可以用显微镜测量的功能来观测样本,其在严酷的工作环境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在测量渐变较大的高度时,跟其他方法相比,可以更精确量测物体高度,建立3D立体影像,优势相当明显。