锂电及窑炉行业产品-碳化硅辊棒

主要特点：

碳化硅辊棒具有优异的高温抗弯强度、抗氧化性、抗腐蚀性和较强的耐磨性，长期高温使用不断裂，不弯曲。

应用范围：

广泛适用于锂电正负极材料、磁性材料、日用陶瓷、建筑陶瓷等生产用辊道窑炉。

光伏及半导体行业产品-反应烧结碳化硅舟托

主要特点

碳化硅舟托，结构稳定，材料热稳定性能好，高温使用不变形，具有超长的使用寿命，有效解决了光伏电池片高承载量下的承载部件损耗问题。

详细说明

光伏行业普遍使用的石英舟托及舟，因其生产工艺和石英材料特性，使用寿命为3-6个月，碳化硅舟托及舟，代替石英，使用寿命可达5年以上，可显著降低使用成本及维护维修停线造成的产能损失。

应用范围

适用于光伏级电池片扩散制程设备的关键承载部件。

光伏及半导体行业产品-碳化硅悬臂桨

主要特点
碳化硅悬臂桨性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，耐急冷急热，热膨胀系数小，使用寿命长，极大的
延长了设备维护清洗周期，并大幅减少污染物。

悬臂桨是光伏电池片装载系统的关键部件。
SiC悬臂桨是半导体晶圆装载系统的关键部件。目前半导体用带CVD涂层的桨完全依赖进口。

我国到目前为止，高端半导体用碳化硅陶瓷依旧只能以进口为主，主要进口来源国为美国、日本。价格居高不下，交货期基本在24个月之上，严重制约我国半导体行业的发展。同时，由于贸易摩擦，此类产品已经在国防军工相关领域被禁用，国产替代势在必行。固勤研制的桨、舟及炉管已初步满足试产条件，正与中国电子科技集团展开合作，积极寻求进口替代。

光伏及半导体行业产品-碳化硅舟

主要特点

碳化硅舟（光伏级）结构稳定，材料热稳定性能好，高温使用不变形，（半导体级）材料纯度高，具有高纯度基体和碳化硅薄膜，避免了杂质引入，减少了工艺制程中对设备环境的污染，有效提高产品品质。

详细说明

光伏行业普遍使用的石英舟托及舟，因其生产工艺和石英材料特性，使用寿命为3-6个月，碳化硅舟托及舟，代替石英，使用寿命可达5年以上，可显著降低使用成本及维护维修停线造成的产能损失。

应用范围

适用于光伏设备，半导体设备中晶圆的关键承载部件。
碳化硅舟应用半导体立式炉，主要应用于高温氧化环节和高温退火环节。