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上海天都能源科技有限公司
致尊敬的客户:
本公司专业经营晶体硅进口电池片产线核心配件。
蚀刻制绒设备,扩散炉,PECVD,烧结炉,丝网印刷,电池分选设备等
欢迎电话垂询:021-20909350
联系人:张文武 电话:13816907507
邮箱:zhangbing529@126.com
主要备件明细如下:
Rena,Schmid进口备件
海绵滚轮 滤芯 气动阀
流量计 传感器 控制元件
各种滚轮 马达 齿轮箱(大小齿)
PLC 变频器 风速流量计SS20 260T
Centrotherm Roth&Rau PECVD进口备件
微波电源 磁控管 磁控头 石英管
载板及载板耗件 石墨舟
高频电源: RF generator 5KW,10kW
真空泵: Vacuum pump (Alcatel,Sihi,Ebara)
质量流量计: mass flow controller(3L;15L;30L)
热电偶: Profile热电偶(profile TC),外部TC cassette-EI 5zones TMM5
PECVD 浆: SiC paddle
CESAR: MicroBox Siemens PC420/PC427B
REG97: Temperature-Controller
真空计: pressure transducer 10 Torr +-0,5%
压差测量器: Differential pressure sensor
阀门: 蝶阀 角阀 电磁阀组,
N2减压阀 NH3减压阀 SiH4减压阀 N2调节阀
TR210: limit value relay TR210 sensors
小推车: complete trolley for 19Piece graphite boat
RDC2: DC drive module, 2 axes
RDIO 8/24: digital I/O module 8 In 24 Out for REG97
TMM6(spike):temperature measuring module 6 channel CAN-bus NiCrNi bottom of the housing,
TMM6(internal):temperature measuring module 6 channels CAN-bus integrated in housing w/
Centrotherm,Tempress, SVCS扩散炉进口备件
POCL浆: SiC paddle(2258,2620)
恒温控制器: Temperature-Control System (Fujifilm,Schumacher)
电机:Faulhauber,Tecmotion,Parker,Dunkermotoren,伺服控制器:RDC2,Omron
热电偶: Profile TC(Left,Right),Spike TC(Single,Double)
MFC(Horiba,Brooks),(3L;15L;30L)
TMM5: cassette-EI 5zones
TMM6: temperature measuring module 6 channels CAN-bus
CESAR: MicroBox Siemens PC420/PC427B
REG97: Temperature-Controller
RDC2: DC drive module, 2 axes
RDIO 8/24: digital I/O module 8 In 24 Out for REG97
压差计: differential pressure sensor
固态继电器: solid state relay 125A
石英件
石英管 TC 套管 排气管
管径变换帽 冷凝瓶 积液瓶
整套集液瓶 炉门石英盖 舟架
石英舟156 石英舟125 整套炉门
石英212槽125 石英212槽156
烧结炉Centrotherm,Despatch,BTU, TPS进口备件
履带:Mesh linked chain W=300mm
双轨履带:wire mesh belt conveyor 2 track B 550mm track pitch 236mm
加热灯管IR-tubular radiator 600W 110V
加热灯管IR-tubular radiator 900W 230V
加热灯管IR-tubular radiator 1600W 230V
加热灯管IR-tubular radiator 2400W 230V
加热灯管IR-tubular radiator 2700W 230V
加热灯管IR-tubular radiator 3700W 230V
加热灯管IR-tubular radiator 1100W 240V(Desptach)
石英板quartz plate 709x270x5
固态继电器Solid state relay
过滤器Solid state relay
Baccini,Asys ,DEK , JRT进口备件
自动卷纸机 台面纸 印刷台面
刮刀夹具 刮条 滚轮
履带 摄像头 上下丝杆
伺服电机 探针排 原装INGUN探针
ELMO卡 烘箱加热管
测试Halm,Berger 进口备件
Halm 氙灯
Berger 氙灯
维修服务
设备移机 PECVD炉门改造(19片舟改21片舟) 印刷台面改造等各种主流电池生产设备技术改造等。
真空泵维修 射频电源维修 恒温槽维修 RDC2维修 Halm检测电源维修 Berger检测电源维修
Tempress板卡维修 ELMO卡维修 扩散炉热电偶维修 Rena齿轮箱维修等。 |