上海天都能源科技有限公司

上海天都能源科技有限公司

致尊敬的客户:

本公司专业经营晶体硅进口电池片产线核心配件。

蚀刻制绒设备，扩散炉，PECVD,烧结炉，丝网印刷，电池分选设备等   

欢迎电话垂询：021-20909350

联系人：张文武   电话：13816907507  

邮箱：zhangbing529@126.com

主要备件明细如下：

Rena，Schmid进口备件

海绵滚轮      滤芯           气动阀     

流量计        传感器        控制元件   

各种滚轮      马达        齿轮箱（大小齿）

PLC           变频器      风速流量计SS20 260T     

Centrotherm   Roth&Rau  PECVD进口备件

微波电源        磁控管       磁控头      石英管      

载板及载板耗件       石墨舟        

高频电源：  RF generator 5KW，10kW 

真空泵：   Vacuum pump （Alcatel，Sihi，Ebara）

质量流量计： mass flow controller（3L；15L；30L）

热电偶：  Profile热电偶（profile TC），外部TC  cassette-EI 5zones TMM5

PECVD 浆:  SiC paddle

CESAR:   MicroBox Siemens PC420/PC427B

REG97：  Temperature-Controller

真空计：   pressure transducer 10 Torr +-0,5%

压差测量器： Differential pressure sensor

阀门：       蝶阀       角阀       电磁阀组，

N2减压阀    NH3减压阀    SiH4减压阀    N2调节阀

TR210：     limit value relay TR210 sensors

小推车：  complete trolley for 19Piece graphite boat

RDC2：     DC drive module, 2 axes

RDIO 8/24：  digital I/O module 8 In 24 Out for REG97

TMM6(spike)：temperature measuring module 6 channel CAN-bus NiCrNi bottom of the housing,

TMM6(internal)：temperature measuring module 6 channels CAN-bus integrated in housing w/

Centrotherm，Tempress, SVCS扩散炉进口备件

POCL浆: SiC paddle（2258，2620）

恒温控制器： Temperature-Control System （Fujifilm，Schumacher）

电机：Faulhauber，Tecmotion，Parker，Dunkermotoren，伺服控制器：RDC2，Omron

热电偶： Profile TC（Left，Right），Spike TC（Single，Double）

MFC（Horiba，Brooks），（3L；15L；30L）

TMM5:   cassette-EI 5zones

TMM6:      temperature measuring module 6 channels CAN-bus

CESAR:   MicroBox Siemens PC420/PC427B

REG97：  Temperature-Controller

RDC2：  DC drive module, 2 axes

RDIO 8/24：  digital I/O module 8 In 24 Out for REG97

压差计:     differential pressure sensor 

固态继电器:  solid state relay 125A

石英件

石英管       TC 套管       排气管       

管径变换帽  冷凝瓶       积液瓶       

整套集液瓶       炉门石英盖       舟架

石英舟156       石英舟125       整套炉门         

石英212槽125    石英212槽156     

烧结炉Centrotherm，Despatch，BTU, TPS进口备件

履带：Mesh linked chain W=300mm

双轨履带：wire mesh belt conveyor 2 track B 550mm track pitch 236mm

加热灯管IR-tubular radiator  600W 110V      

加热灯管IR-tubular radiator  900W 230V       

加热灯管IR-tubular radiator 1600W 230V

加热灯管IR-tubular radiator  2400W 230V     

加热灯管IR-tubular radiator  2700W 230V      

加热灯管IR-tubular radiator 3700W 230V

加热灯管IR-tubular radiator  1100W 240V（Desptach）

石英板quartz plate 709x270x5

固态继电器Solid state relay

过滤器Solid state relay

Baccini，Asys ，DEK , JRT进口备件

自动卷纸机      台面纸         印刷台面       

刮刀夹具       刮条         滚轮   

履带            摄像头        上下丝杆         

伺服电机        探针排      原装INGUN探针     

ELMO卡         烘箱加热管    

测试Halm，Berger  进口备件

Halm 氙灯

Berger 氙灯

维修服务

设备移机       PECVD炉门改造（19片舟改21片舟）     印刷台面改造等各种主流电池生产设备技术改造等。

真空泵维修     射频电源维修        恒温槽维修       RDC2维修       Halm检测电源维修        Berger检测电源维修 

Tempress板卡维修     ELMO卡维修       扩散炉热电偶维修      Rena齿轮箱维修等。