我公司于2012年8月成功推出1200kg双区控温多晶硅铸锭炉,目前在客户现场正常生产近2个月,所有指标均达到设计要求,填补国内大投料量、双区控温铸锭设备的空白,为国内首创。该设备采用最新的大装载量炉腔技术、双区控温技术,能容纳1040*1040*600的石英坩埚,装料量最大可达1200kg,顶部和侧面加热分开控制,极大地提高了控制精度和铸锭效率。为要求不断提高的铸锭工艺提供了一个更加开放的、多功能的设备平台。目前客户在该设备平台上开发出准单晶、高效多晶等多种工艺技术。
炉腔示意图
设备特点:
1.最大的G6单锭生产能力,最大投料量可达1200kg;
2.低能耗,5.8度/kg,每年可节省电费10 ~ 20万元;
3.多种功能,能生产普通多晶硅锭、准单晶硅锭、高效片硅锭,极大地拓宽了客户的市场竞争力;
4.具有DS块底部气冷装置(选配),进气全自动控制,为用户提供一种全新的冷却方式,可用于高效铸锭工艺、快速冷却工艺的开发;
5.全套进口优质热场材料,使用寿命长,加热器、保温毡使用寿命可达18个月以上;
6.控制系统自主开发,容易升级,能实现远程监控;
7.具有DS块温度异常变化的漏硅预警,可提前约30min的反应时间;
1.最大的G6单锭生产能力,最大投料量可达1200kg;
2.低能耗,5.8度/kg,每年可节省电费10 ~ 20万元;
3.多种功能,能生产普通多晶硅锭、准单晶硅锭、高效片硅锭,极大地拓宽了客户的市场竞争力;
4.具有DS块底部气冷装置(选配),进气全自动控制,为用户提供一种全新的冷却方式,可用于高效铸锭工艺、快速冷却工艺的开发;
5.全套进口优质热场材料,使用寿命长,加热器、保温毡使用寿命可达18个月以上;
6.控制系统自主开发,容易升级,能实现远程监控;
7.具有DS块温度异常变化的漏硅预警,可提前约30min的反应时间;
8.炉体焊缝100% X光拍片探伤,达到国内Ⅱ类压力容器标准。
底部进气装置
双区控温特色:
1.双区控温便于控制加热功率分布,使能量集中在熔融区,更节能;
2.双区控温能更好地控制固液界面形状,利于微凸界面的形成,获得较大晶粒和均匀的杂质分布;
3.化料和长晶阶段,顶、侧可采用不同的加热功率或温度曲线,灵活改变温度场,从而可缩短长晶周期;
4.双区控温能提供更好的等温面,更适应准单晶铸锭、高效铸锭的工艺要求。
双电源供电
出炉硅锭
IRB-50检测图
少子检测图
出炉硅锭
IRB-50检测图
少子检测图