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	HDS320系列扩散炉 ◆设备用途该设备是晶体硅太阳电池制造过程中不可或缺的关键设备之一，主要用于晶体硅太阳电池制造中硅片的扩散掺杂与氧化工艺。	2015-11-04
	HPE400系列PECVD ◆设备用途等离子体增强化学气相淀积（简称PECVD），主要用途是在硅片表面淀积一层减反射氮化硅膜（SixNy），同时利用在淀积过程	2015-11-04
	石墨舟自动装卸片机一、设备用途：本设备主要用于晶体硅太阳电池制造中与管式PECVD配套对硅片进行装卸。即将硅片从料盒中自动装载至石墨舟中，同时	2015-11-04
	N型电池专用扩散炉\| 本设备主要用于8英寸硅片以下N型高效太阳能电池制造中的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺	2015-11-04